该晶圆制造技术厂靠近华东区县区县,最主要的分娩89英寸光电器件晶圆,平均废渣废气消耗量上涨约800吨。由分娩期间中使用的大量氢氧化钠来晶圆蚀刻,引致废渣中氟化物盐浓度更是高达200-300mg/L,远超我国废气排卸准则(10mg/L接下来)。
废水处理材质及来自
污废水 常见位于6个阶段:
晶圆蚀刻工艺程序
:含高氨水浓度氟化物(HF)、氯化铵及几瓶天价属
无机化学机械厂抛光剂(CMP)污水
:含微米级硅粒子、有机的络合剂
生产设备的洗涤焦化废水
:含异丙醇、挥发酚等设计物
处里技术流程步骤
使用"生物学奠定+沥青混凝土奠定+深度1活性炭过滤"三级分销外理系统的:
特级办理
:加药系统氯化钙和氢被氧化钙,产生氟化钙积淀,氟化物我们要除率达85%
2级操作
:增多PAC(聚合反应氯化铝)和PAM(聚丙烯塑料酰胺),去掉溶液态环境有机废气
三级视频加工处理
:实现多物料过虑器和活性酶类炭吸咐,出水出水氟化物氧浓度稳定可靠在8mg/L下
最为关键的仪器涉及:pH手动调接系統、斜管水解池、板框压滤机厂家(废水出现脱水)。
最终能够体验
内容运营2年监测方案信息提示 :
氟化物平均水平质量浓度:7.2mg/L(少于国内的标准)
COD去掉率:92%
活性污泥水分含量率:≤65%
年回笼氟化钙副的产品约150吨,达成资源英文化用