半导体芯片加工废水怎么处理|半导体芯片加工废水如何处理
顶目背静
该半导体芯片厂家是在苏南型地,具体生产制造方式8寸大和12寸大晶圆,日释放量废的水量约2000吨。是因为生产制造方式加工过程有难度,废河中包含多种类难吸附生产物和巨资属亚铁离子,过去鑫霖环保无法足够日渐按照严格的释放量标准单位。
废气含量及起源
污水注意主要来出于十个过程:晶圆切除污水所含大规模硅粉和切除液残余;电化学自动化机械cnc精密机械加工污水所含电解质溶液硅和粉磨粒子;刻蚀洗涤污水所含氟化物、铜阴离子等天价属;光刻的工艺污水则所含光阻剂等有机化学被污染的物。水源性能是COD高(800-1500mg/L)、氟化物溶液浓度高(200-400mg/L)、飘浮物多且所含进样器天价属。
清理工序注意事项
利用"化学预治疗+生物化学治疗+纵深治疗"的团体加工制作工艺 :
自动调节池平均地表水蓄水量
水泥混凝土沉淀自己出掉透明桌面物和电解质溶液材质
有机化学析出法专业治疗氟化物,加药钙盐确立氟化钙析出
溶解酸性反应池提升 废水处理可生物化性
接受钝化池生物降解有机化学危害物
几丁质酶炭过滤塔对其进行层次解决
膜分离法软件确认有水出水源保持稳定
涉及含铜废污水直接设立亚铁离子交易装置,回收利用有價值的金属质铜。
以后视觉效果
大型项目开工建设后开机运行稳定性,满水后COD<50mg/L,氟化物溶液浓度值<5mg/L,铜正离子溶液浓度值<0.3mg/L,一项指标体系均依赖于祖国《电子技术实业水生态环境污染物质排出规定》(GB 39731-2020)。第一年可减轻COD排出约300吨,氟化物排出约50吨,回收公司铜合金约2吨,推动了生态环境高社会效益与生活高社会效益的互惠互利。